簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="蝕刻"


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    大型高純度氧化鋁物件製程與其在NF3/Ar電漿蝕刻行為
    • /97/ 博士
    • 研究生: 林欽山 指導教授: 林舜天 洪儒生
    • 12吋半導體製程中之化學氣相沉積設備反應室內,所需之精密氧化鋁陶瓷,必須具備有高純度、能抵抗電漿環境中的侵蝕性氣體與300mm以上大尺寸物件的特性。所以,胚體成型的技術是一項重要課題,更需要鑽石工具…
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    • 全文公開日期 2013/12/23 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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